BRUKER DAKTEK 台阶仪

测量技术 探针式表面轮廓测量技术 ( 接触模式)

测量范围 二维表面轮廓的测量

可选择 三维测量及数据分析 ，样品观测
可选择放大倍数，视场（FOV）
范围： 1 to 4mm
探针传感器 低惯量传感器 (LIS 3)  
探针作用力  LIS 3 传感器中 1 到 15mg  
低作用力模式 N-Lite+  低作用力 0.03  到 15mg 探针选项
探针曲率半径 50nm to 25μm 高径比针尖 (HAR) 10 μm x 2 μm and 200 μm x 20 μm;
也可根据需求采用用户 定制的针尖

样品 X/Y载物台
手动 X/Y（4 英寸）：100mm*100 mm,可手动校平
马达 X/Y（6 英寸）：150mm*150mm, 可手动校平

样品 R-Ө 载物台
手动, 360度连续旋转
马达, 360度连续旋转

计算机系统
64位 多核并行处理器, Windows® 7.0系统;
可选配23 英寸平板显器
软件 Vision64
操作分析软件;
应力测量软件;
悬臂偏转测试软件;

选配：
缝合软件;
3D 应力分析软件;
3D 测量软件
隔振系统
多种隔振方案可供选择

扫描长度范围 55mm (2 英寸)
单次扫描数据采集点 最大 120,000
最 大样品厚度 50mm  (2英寸)
最大晶片尺寸  200mm (8 英寸)
台阶高度重复性 < 5Å ,
测量1 μm 台阶高度标准偏差
垂直方向扫描范围 1mm (0.039英寸)
垂直方向分辨率
最高分辨率可达 1Å (在 6.55 μm 测量范围内)
输入功率 100 – 240 VAC, 50 – 60Hz
温度范围 可操作温度为20 到 25℃ (68 to 77℉)
湿度范围 ≤ 80%, 无凝结

系统尺寸和重量 455mm W x 550mm D x 370mm H (17.9in. W x 22.6in. D x 14.5in. H)
34kg (75lbs.)
隔离罩：550mm L x 585mm W x 445mm H (21.6in. L x 23in. W x 17.5in. H)
21.7kg (48lbs.) 

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