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制造商：KURT J. LESKER
模型：PVD 75
类别：溅射系统
设备详情：
薄膜溅射系统
PVD工艺腔：
D形304 SS，24“高x 14”宽
体积：75升
大通道和可更换视口
O形圈密封
前门检查门
灵活处理端口
304L不锈钢带6061铝合页门
真空泵送：
CTI-8F 1500低温泵
压缩机
3位气动隔离闸阀
触摸屏控制器/ PC控制
油封机械粗抽泵：5.7 CFM
富勒线阀
干粗抽泵
前级管道陷阱
除雾器
粗加工阀
真空计量：
宽范围真空计（离子计和皮拉尼）
安装/连接硬件
适配器
机柜和框架：
封闭系统支撑架
配电
调平垫
机柜结构碳钢
灰色粉末涂层
水歧管包括：
系统组件：水分配
关键部件：互锁流量开关
截止阀
NPT连接，1“
TEK- TEMP循环水冷却器，6加仑，10000个英热单位，60 PSI
溅射源：
（3）磁控管溅射源法兰组件
（4）磁控溅射阴极
的O型圈密封的压缩接头：源-基板间距离
气动驱动沉积源快门
电源：
KJLC 600 W RF电源，带自动匹配网络和控制面板
