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SE1000全光谱椭偏仪
(TABLE TOP SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETER)
产品描述
SE-1000型椭偏仪采用手动变角装置来设定测试的入射角，样品台也采用手动方式，在测试的准确性和灵活性与SE-2000保持一致的情况下，为客户提供了一款极具竞争力的椭偏测试设备。另一方面，SE-1000型全光谱椭偏仪采用了最新设计的光学部件以及最新版本的测试分析软件（SAM/SEA），极大地提高了设备的运行稳定性和数据处理能力
与SE-2000平台一样，SE-1000全光谱椭偏仪同时也是一个多功能测试平台，采用模块化的设计，可集成FTIR红外光谱测试模组、涡电流法非接触式或4PP接触式方块电阻测试模组、Mueller Matrix各项异性材料测试模组、Raman结晶率测试模组、电子迁移率表征模组、LBIC光诱导电流测试模组、反射干涉测试模组等多种功能，用户可根据测试需求合理选择搭配功能
产品特点及应用
业界第一家光谱型椭偏仪测试设备厂商
业界标准测试机构定标设备，参与发布中华人民共和国椭圆偏振测试技术标准
针对研发及实验室测试设计，能降低测试成本
模块化设计，可综合监控样品光学和电学特性
定期免费升级SOPRA材料数据库
开放光学模型拟合分析过程，方便用户优化测试菜单
主要技术指标(Specifications)
手动变角范围：45°-75°（最小步进5°）
光谱范围：245-990nm
最大样品尺寸： 200mm
厚度测量范围：0.01nm-50um（取决于样品类型）
a) Sample requirements 样品要求
Semilab Standard Wafer 标准样品 1200 Å SiO2
b) Specification 测试指标
Optical source 光源 Xe lamp (75W) 氙灯
Detector 探测器 Fast CCD (250nm-1700nm)
Loading 上料方式 Manual Load 手动上料
Stage 样品台 200mm
Thickness 厚度范围 1nm - 10µm
Measurement time 测试速率 1-2sec/data point
AOI (Angle of Incident) 入射角 45° -75°, and 90°(Manual Goniometer)
45° -75°, and 90°（手动变角器）
Spot size on sample at 75° incidence angle 75 度入射角时光斑在样品上的尺寸
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Default Long Optics Special Short Optics
Standard Microspot 365x470 μm 0.6×1.2 mm
Ultra Microspot 70x140 μm 250×500 μm
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Thickness accuracy 厚度准确性 <5 Å
Thickness Repeatability 厚度重复性 0.2 Å（ 120nm SiO2/Si）
Refractive index accuracy 折射率准确性 <0.005
Refractive Index Repeatability 折射率重复性 ±0.002（ 120nm SiO2/Si）
Uptime 正常运行时间 ≥99%
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Note： Performance is based on Semilab standard wafer
注：性能指标是基于Semilab的标准样品
Repeatability:1σ, 30static measurement standard dev:
重复性： 30次静态重复测量的标准偏差
